超純水是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率達(dá)到18MΩ.cm（25℃）的水。常用于集成電路、半導(dǎo)體原材料、固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等。

（1）活性炭吸附 活性炭依靠吸附和過(guò)濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機(jī)物雜質(zhì)。 （2）超過(guò)濾（UF） 超濾膜是一種強(qiáng)韌、薄、具有選擇性的通透膜，通常認(rèn)為其過(guò)濾孔徑約為0.01μm，可截留某種特定大小以上的分子，包括：膠質(zhì)、微生物和熱源。較小的分子，例如：水和離子，則可通過(guò)濾膜。

傳統(tǒng)超純水制取采用離子交換工藝，但運(yùn)行一段時(shí)間后樹(shù)脂會(huì)失效，需要酸堿再生，耗費(fèi)大量的人力物力，同時(shí)酸堿的存儲(chǔ)也是一個(gè)問(wèn)題?，F(xiàn)在廣泛采用二級(jí)反滲透加EDI技術(shù)，無(wú)需酸堿再生，可連續(xù)不間斷制水，水質(zhì)穩(wěn)定，安全環(huán)保。

在電子工業(yè)中，超純水水質(zhì)已成為影響產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品合格率、生產(chǎn)成本的重要因素之一，超純水主要用作清洗用水以及配制各種溶液，不同的電子元器件生產(chǎn)中純水的用途不同，對(duì)水質(zhì)的要求也不同。

傳統(tǒng)制取電池用超純水常采用陰陽(yáng)樹(shù)脂交換裝置，該工藝的缺點(diǎn)在于樹(shù)脂在使用一段時(shí)間后要經(jīng)常再生。現(xiàn)在通常采用反滲透技術(shù)，后面再經(jīng)過(guò)離子交換混床或電EDI工藝來(lái)制取超純水。

1.高效率殺菌：紫外線對(duì)細(xì)菌、病毒的殺菌作用一般在一秒內(nèi)完成，而對(duì)傳統(tǒng)氯氣及臭氧方法來(lái)說(shuō)，要達(dá)到紫外線的效果一般需要20分鐘到一小時(shí)的時(shí)間。 2.殺菌廣泛性：紫外線技術(shù)在目前所有的消毒技術(shù)中，殺菌的廣泛性是高的。它對(duì)幾乎所有細(xì)菌、病毒都能高效率殺滅。

1、大型系統(tǒng)中膜元件較多且流程較長(zhǎng)，一般無(wú)需采用濃水回流工藝提高回收率。 2、大型系統(tǒng)各段并聯(lián)的膜串?dāng)?shù)量已不限于1串或2串，排列形式更具多樣性與靈活性。

在反滲透純水系統(tǒng)中，軟化器交換工序中的原水自上而下穿過(guò)樹(shù)脂層，當(dāng)軟化樹(shù)脂開(kāi)始失效時(shí)，上端的樹(shù)脂層已經(jīng)失效，而下端的工作層樹(shù)脂尚未失效。當(dāng)軟化器中的樹(shù)脂置換飽和時(shí)就需要進(jìn)行再生處理。樹(shù)脂的再生過(guò)程根據(jù)再生鹽液的流向分為逆流再生和順流再生。

為了確保純化水水質(zhì)要求，輸送管道系統(tǒng)是極其重要的，純化水管路系統(tǒng)包括：衛(wèi)生級(jí)供水泵、在線消毒系統(tǒng)、定期消毒系統(tǒng)、管路、閥門(mén)、多種傳感器和用水點(diǎn)等組成。細(xì)菌在純化水輸送管道中會(huì)滋生，為了控制微生物的生長(zhǎng)，在設(shè)計(jì)和施工中采取以下措施。